D07-19B質(zhì)量流量控制器

特 點: ★高精度，快響應型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭，標準機械接頭 ★兼容用 途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精 密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

主要技術指標

型號   D07-19B
1 流量規(guī)格   （ 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM      （ 0~1,2,3,5,10,20,30） SLM

2 準確度     ±1 % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.）
3 線性 ±（0.5~1） % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.）
4 重復精度 ±0.2 % F.S.
5 響應時間 1 ~ 4 sec
6 工作壓差范圍
≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa （14.5~72.5 psid）
＞10SLM： 0.1~ 0.3 Mpa （14.5~43.5 psid）
7 耐壓 3 MPa （435.1 psig）
8 工作環(huán)境溫度5 ℃ ~ 45 ℃
9 輸入輸出信號
0 V ~ +5.00 V
（輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA）
10 電源
+15 V 50 mA
-15V 200 mA
11 外形尺寸 mm Swagelok：127×38×107 VCR：124×38×107
19 重量 kg 0.95

注意:
質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: SCCM （標準毫升/分）;
SLM （標準升/分）
標準狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 --- 273.15K （ 0℃ ）;
氣壓 — 101325 Pa （760mm Hg）
F.S. （Full Scale）: 滿量程值

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