【國(guó)產(chǎn)x光鍍層測(cè)厚儀技術(shù)指標(biāo)】

分析元素范圍：從硫（S）到鈾（U） 
同時(shí)檢測(cè)元素：多24個(gè)元素，多達(dá)五層鍍層（鍍鎳、鍍金、鍍銀、鍍錫等）
檢出限：可達(dá)2ppm，薄可測(cè)試0.005μm
分析含量：一般為2ppm到99.9% 
鍍層厚度：一般在50μm以內(nèi)（每種材料有所不同）重復(fù)性：可達(dá)0.1%
SDD探測(cè)器：分辨率低至135eV
采用良好的微孔準(zhǔn)直技術(shù)，小孔徑達(dá)0.1mm，小光斑達(dá)0.1mm
樣品觀察：配備全景和局部?jī)蓚€(gè)工業(yè)高清攝像頭
準(zhǔn)直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與 
穩(wěn)定性：可達(dá)0.1%
Ф0.3mm四種準(zhǔn)直器組合
操作環(huán)境濕度：≤90%
X/Y/Z平臺(tái)移動(dòng)速度：額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺(tái)重復(fù)定位精度 ：小于0.1um
操作環(huán)境溫度 15℃～30℃
樣品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
儀器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
樣品臺(tái)尺寸：393(W)x 258 (D）mm

【國(guó)產(chǎn)x光鍍層測(cè)厚儀測(cè)試實(shí)例】

在保證計(jì)數(shù)率的情況下能有效分辨相近元素，大大提高測(cè)試穩(wěn)定性、降低檢測(cè)限。

Thick 8000x光鍍層測(cè)厚儀檢測(cè)譜圖

某國(guó)外x光鍍層測(cè)厚儀儀器檢測(cè)譜圖

11次測(cè)量結(jié)果（Au-Cu)的穩(wěn)定性數(shù)據(jù)對(duì)比如下：