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電容式和擴散硅式壓力變送器的特點
2014-5-4 閱讀(4347)
電容式壓力變送器：
①電容式變送器采用微位移式的工作原理，并采用差動電容作為檢測元件，因此整個變送器無機械傳動和機械調(diào)整部分，其*可微動的部分是一個有預(yù)張力的中心感壓膜片，因此其結(jié)構(gòu)非常簡單。同時測壓部分應(yīng)用了液壓傳遞原理，因此測壓部件主要結(jié)構(gòu)只有感壓片和弧形容室，并全部采用熔焊的固體化結(jié)構(gòu)，從而使變送器具有高度、高穩(wěn)定性、高可靠性和高抗振性。
②電容式變送器的調(diào)零和調(diào)量程等全部采用多圈電位器來進行調(diào)整，并能在不打開殼蓋情況下在外部對全測量范圍作連續(xù)均勻的調(diào)節(jié)，其量程的可調(diào)范圍為1:6以上。而量程始點的遷移，在整個測量范圍
內(nèi)無論正遷或負遷移，只要撥動一下開關(guān)就能實現(xiàn)，因此使用和維護都非常方便。
③具有阻尼調(diào)節(jié)裝置，因此可用于脈動壓力的測量。
④采用球形曲面的過載保護結(jié)構(gòu)，這不但使結(jié)構(gòu)大為簡化'而且與一般的“波紋靠背”的過載保護相比，其可靠性更勝*。
⑤電容式變送器有一般型、隔爆型和安全火花型。
擴散硅式壓力變送器：這種變送器采用半導(dǎo)體硅作感壓元件。硅半導(dǎo)體材料具有壓阻效應(yīng)，在壓力作用下，硅晶格間隙發(fā)生變化，導(dǎo)致載流子遷移率的改變，從而引起電導(dǎo)率變化。對于半導(dǎo)體電阻
體，當機械變形時，電阻率的相對變化率遠大于外形尺寸L、A的相對變化率，其電阻變化率主要是壓阻效應(yīng)造成，當半導(dǎo)體壓阻片與彈性元件處于一體，受壓而發(fā)生同一應(yīng)變時，應(yīng)變量e與被測壓力p成正比，說明半導(dǎo)體壓阻片的電阻變化率與被測壓力成正比，由此可測出壓力的變化。當被測壓力（差壓）在全量程范圍內(nèi)波動時（相應(yīng)壓敏電阻變化量為AR），變送器輸出統(tǒng)一信號為4～20mA。變送器中，采用IC（集成電路）技術(shù)直接在硅膜上擴散形成應(yīng)變測量橋路元件，因此體積可做得很小。變送器具有度高、直接輸出直流信號、線性度好、適用溫度范圍廣、重量輕、體積小、結(jié)構(gòu)簡單等特點，可用于靜壓、動態(tài)壓力測量。
