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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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閱讀：159 發(fā)布時間：2020/12/09
ICP / RIE蝕刻應(yīng)用范圍：
- Si，SiO2，SiN蝕刻工藝
- Al，Cr，Ti，TiW，Au，Mo等金屬蝕刻工藝
- 晶圓尺寸：一片，4英寸，6英寸晶圓
RIE 等離子刻蝕案例：
SiO2 / SiN蝕刻
80 sccm CF4，均勻性<5％，在6英寸晶圓上
幾種功率水平下的壓力與蝕刻速率（如下圖）：
PlasmaSTAR®系列等離子處理系統(tǒng)適合處理所有的材料，擁有模塊化腔室和電極配置，可滿足不同的等離子工藝和基片尺寸。占地面積小，觸摸屏計算機控制，多級程序控制和組件控制，操作簡單。用于研究、工藝開發(fā)和批量生產(chǎn)，可輕松集成到自動化生產(chǎn)線和系統(tǒng)中。
腔室/電極
PlasmaSTAR®模塊化腔室和電極組件是該系統(tǒng)的*功能。腔室材料是硬質(zhì)陽極氧化鋁，耐腐蝕。有幾種不同的電極設(shè)計，包括用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）和平面處理的水冷平板電極，用于表面清洗或處理的交替托盤電極，用于小化離子損傷的下游電極，和用于普通的圓柱形等離子體處理的籠式電極。
標配圓柱形“桶”式電極
用于光刻膠剝離和各向同性刻蝕
RIE電極（可選配）
用于各向異性蝕刻的水冷電極
隔板電極（可選配）
用于各向同性蝕刻，標配2塊電極
等離子體源
該系統(tǒng)可選配LF（KHz）或13.56（MHz）射頻電源以及自動匹配網(wǎng)絡(luò)。
真空泵系統(tǒng)
該系統(tǒng)配機械泵或帶羅茨鼓風(fēng)機的機械泵。根據(jù)所需的真空處理水平，可提供不同尺寸大小的真空泵。真空泵配有腐蝕性泵油（惰性泵油），適用于氧氣或其他腐蝕性化學(xué)應(yīng)用。流量控制器（MFC）的氣體管路是標配。下游壓力控制器是選配。
電腦控制
觸摸屏電腦控制，提供無線程序存儲，多步驟工藝簡單易存，易于編程，實時顯示工藝條件。工藝處理可用條形碼讀?。ㄟx配）。
其中較典型的等離子處理工藝包括：
? 等離子預(yù)處理
? 光刻膠去膠
? 表面處理
? 各向異性和各向同性蝕刻
? 故障分析應(yīng)用
? 材料改性
? 封裝清洗
? 鈍化層刻蝕
? 聚酰胺刻蝕
? 促進粘合
? 生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用
? 聚合反應(yīng)
? 混合清洗
? 預(yù)鍵合清洗
