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ENI® 提供高可靠的固態(tài)電源，其頻率從 1MHz 到 60MHz， 功率從 3 百瓦至 13千瓦，還可選自動頻率調諧，廣泛地應用于 Etch， CVD 和 PVD等工藝。

• 中頻射頻功率電源 （1-4MHz）
  • NOVA® 系列，功率為 2.5 千瓦和 5千瓦，自動頻率調諧可選。
  • Spectrum® 系列，功率從 5千瓦至 11千瓦，自動頻率調諧可選。
• 高頻射頻功率電源 （13.56MHz）
  • GHW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 5 千瓦，自動頻率調諧可選。
    
  • Spectrum® 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 10.5 千瓦，自動頻率調諧可選。
  • SurePower® 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 13 千瓦，自動頻率調諧可選。
• 超高頻射頻功率電源 （27.12-60MHz）：
  • GEW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 3千瓦，自動頻率調諧可選。