1479A是一種堅(jiān)固的金屬密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制有腐蝕性氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
1479A是一種堅(jiān)固的金屬密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制有腐蝕性氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。
對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器，1479A可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使1479能夠直接進(jìn)行安裝而無(wú)需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to * 的全量程。
測(cè)量精度：全量程的1%
靈敏度：全量程的0.1%
熱機(jī)時(shí)間：小于2Min.
響應(yīng)速度：小于2Sec.
輸入電壓：±15VDC@100ma
輸出電壓：0-5VDC
連接器：模擬： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字：RS485或Device net或Profibus
法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材質(zhì)：316 不銹鋼。
質(zhì)保期：有限保修自售出之日起12個(gè)月。
例：型號(hào)1479A00411CR1A6MXX 采購(gòu)序列號(hào)
1479A 1479A
校準(zhǔn)氣體（SEMI氣體編號(hào)）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校準(zhǔn)流量SCCM－sccm（相當(dāng)?shù)獨(dú)?/span>）
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
裝配件
標(biāo)配：（兼容）SwagelokR4VCRR凸接頭 R
選配：（兼容）VCOR管道 G
選配：（兼容）SwagelokR0.25英寸管道 S
C－密封表面貼裝，符合 SEMI 2787.1標(biāo)準(zhǔn) C
W密封表面貼裝，符合 SEMI 2787.3F標(biāo)準(zhǔn) H
閥門(mén)
常閉 3
型號(hào)1479A（續(xù)）
采購(gòu)序列號(hào)
連接器
模擬型：
9針D型接口 A
15針D型接口 B
15針邊緣卡接口 C
單元設(shè)備15針D型接口 N
數(shù)字型：
RS-485 5
DeviceNetTM 6
密封
金屬,Kel-F 閥栓，≦200 sccm；Teflon 閥栓，≧500sccm M
固化軟件版本（僅對(duì)DeviceNetTM）
除非特別說(shuō)明，MKS將發(fā)運(yùn)訂貨時(shí)的固化軟件版本 XX
用于1479A的電纜線
CB147-12-10用來(lái)將1479 9針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647
CB259-5-10用來(lái)將1479 15針D型接口連接至246, 247
CB147-1-10用來(lái)將1479 15針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
CB259-10-10用來(lái)將1479 20針邊緣卡接口連接至246, 247
CB147-7-10用來(lái)將1479 20針邊緣卡接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
