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1559是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范圍進(jìn)行氣體的質(zhì)量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559*的控制閥門能夠消除振蕩、具有更好的響應(yīng)時(shí)間。它的這個(gè)特點(diǎn)是通過使用一“平衡力"閥門的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)的，它能夠消除管道壓力引起控制閥門內(nèi)部的非平衡狀態(tài)。1559的精度為全量程的±1％。

1559是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在20slm（42.5cfh）到200slm（425cfh）量程范圍進(jìn)行氣體的質(zhì)量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559*的控制閥門能夠消除振蕩、具有更好的響應(yīng)時(shí)間。它的這個(gè)特點(diǎn)是通過使用一“平衡力”閥門的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)的，它能夠消除管道壓力引起控制閥門內(nèi)部的非平衡狀態(tài)。1559的精度為全量程的±1％。

例：型號1559A00421LS1BV 采購序列號

校準(zhǔn)氣體（SEMI氣體編號）*

Helium, He 001

Argon, Ar 004

Hydrogen, H2 007

Nitrogen, N2 013

Oxygen, O2 015

**校準(zhǔn)流量SLM－sccm（相當(dāng)?shù)獨(dú)鈠ui大200SLM）

20 021L

50 051L

100 12L

200 22L

裝配件（Y）

標(biāo)配：Swagelok 0.5英寸管 S

選配：Swagelok^R 8VCR^R 凸接頭 R

選配：Swagelok^R 8VCO^R 凸接頭 G

閥

常閉 1

電氣/通訊連接器

模擬15針 D B

密封（Z）

標(biāo)配: Viton^R V

選配: Neoprene^R N

選配: Buna N B

選配: Kalrez^R K

型號 1559A（續(xù)）

用于1559A的電纜線

CB259-5-10用來將1559連接至PR4000, 246, 247

（如要在247上連接2個(gè)以上的通道，需要添加一個(gè)電源，請用CB1559-1-10）

CB147-1-10用來將1559連接至146, 186, 647, 167

CB1559-1-M1用來連接1559A、247D和260PS

*其他氣體編號見附錄B

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