2179是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，它帶有一個關(guān)閉閥，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器，它還可以用作壓力控制器。
2179是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，它帶有一個關(guān)閉閥，可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器，它還可以用作壓力控制器。
常閉的氣密關(guān)閉閥門正向關(guān)閉時的泄漏量僅為4 x 10-9 scc/sec（He）。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1％和讀數(shù)的1％。2179具有很小的功耗：在常規(guī)直流±15V供電工作時，單元電流僅有100mA（在zui初開機階段為200mA）。
例：型號2179A00411CR16VXX 采購序列號
校準氣體（SEMI氣體編號）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校準流量SCCM－zui大20000 （相當(dāng)?shù)獨猓?span style="color: red">
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
裝配件
標配：（兼容）SwagelokR 4VCRR 凸接頭 R
選配：（兼容）SwagelokR 4VCOR 凸接頭 G
選配：（兼容）SwagelokR 0.25英寸管道 S
長度適配器 w/ 4 VCR 配件** L
長度適配器w/ 1/4" Swagelok 配件*** W
閥門
常閉 1
型號 2179A（續(xù)）
連接器
模擬型：
9針D型接口 A
15針D型接口 B
15針邊緣卡接口 C
單元設(shè)備15針D型接口 N
Millpore15針D型接口 T
數(shù)字型：
RS-485 5
DeviceNet 6
密封
標配:VitonR V
選配:NeopreneR N
選配:Buna N B
選配:KalrezR K
固化軟件版本（僅對DeviceNetTM）
除非特別說明，MKS將發(fā)運訂貨時的固化軟件版本 XX
用于2179A的電纜線
CB147-12-10用來將2179 9針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647
CB259-5-10用來將2179 15針D型接口連接至246, 247,
CB147-1-10用來將2179 15針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
CB259-10-10用來將2179 20針邊緣卡接口連接至246, 247
CB147-7-10用來將2179 20針邊緣卡接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
