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Delta-質(zhì)量流量計

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貨物所在地：浙江杭州市

所在地：美國

更新時間：2025-05-29 21:00:08

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產(chǎn)品分類品牌分類

INFICON真空測量控制儀器: 寬量程真空計高精度真空計真空計控制器

INFICON氣體檢漏設(shè)備: 便攜式檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀鹵素檢漏儀其他檢漏儀

INFICON膜厚控制系統(tǒng): 膜厚監(jiān)測儀膜厚控制儀石英晶振片

INFICON殘余氣體分析儀: 殘余氣體分析儀氣體分析系統(tǒng)

INFICON化學(xué)檢測與監(jiān)測: 化學(xué)物質(zhì)監(jiān)測系統(tǒng) 氣體泄漏檢測儀氣體分析儀

LEYBOLD真空儀器及耗材: 工業(yè)級檢漏儀真空泵油顯示控制儀萊寶真空計

BUSCH真空設(shè)備: 廢氣處理系統(tǒng)

PFEIFFER真空控制儀器: 全量程真空計

Vogtlin流量控制器: 質(zhì)量流量計可變面積流量計

真空泵及耗材: 干泵機械泵分子泵

ALICAT質(zhì)量流量控制儀器: 多功能質(zhì)量流量計和控制器

MKS流量計及真空計: 質(zhì)量流量計

真空閥門: HPS真空閥門 VAT真空閥門壓電閥

真空配件: 超高真空 CF 元件

阿爾卡特: 顯示控制器

ASTM標(biāo)準(zhǔn)油: 橡膠塑料試驗油

水汽冷凝捕集系統(tǒng): TVP3500

過濾器: 金屬過濾器微粒過濾器水冷分離器

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產(chǎn)品簡介詳細介紹

使用DELTA流量比例控制器（FRC）能更容易獲得Z佳的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設(shè)備，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設(shè)備中，F(xiàn)RC使用戶能夠?qū)怏w或混合氣體分送至同一反應(yīng)室中的兩個不同區(qū)域。根據(jù)氣體（或任何混合氣體）及其設(shè)定比率，F(xiàn)RC會自動將氣體分送到兩個不同的出口。

DELTA™

流量比例控制器

使用DELTA™流量比例控制器（FRC）能更容易獲得*的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設(shè)備，如刻蝕、去膠和PECVD工藝設(shè)備中，FRC使用戶能夠?qū)怏w或混合氣體分送至同一反應(yīng)室中的兩個不同區(qū)域。根據(jù)氣體（或任何混合氣體）及其設(shè)定比率，FRC會自動將氣體分送到兩個不同的出口。

在任何新的和已有的工藝設(shè)備中使用FRC都很簡單。擁有大量程范圍的流量（500/500sccm到10,000/10,000sccm）可供選擇，FRC均可以滿足您的要求。憑借擁有版權(quán)的計算器，我們應(yīng)用工程師們將為您的應(yīng)用選擇正確的部件。MKS會傳送給您有關(guān)機械和電學(xué)細節(jié)的電子文檔，幫助您開始進行部件的整合。由于FRC在工作中保持一個低于大氣壓的管道壓力，因而通常不需要特殊的防漏措施。