國內(nèi)光伏行業(yè)普遍使用的PECVD設(shè)備是由德國Ruth&Rau公司提供的。如常州天合， Ruth&Rau公司國內(nèi)目前重要的zui終用戶。      

    Ruth&Rau的PECVD設(shè)備上裝配的壓力計多為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B，流量計多為1179B （SiH4，NH3），這些產(chǎn)品均為MKS德國工廠所生產(chǎn)，所以在價格上面會比較高。而國內(nèi)本土的PECVD設(shè)備商，如七星華創(chuàng)、中電48所，選配的壓力 計除MKS的626B和627D外，也有INFICON電容薄膜規(guī)：CDG025D，相對MKS產(chǎn)品價格要便宜一些。兩者的區(qū)別（以CDG025D和 626B為例）主要體現(xiàn)在量程跨度和精度上面；626B的量程可以跨越10⁵量級，如一般用的滿量程為10Torr的，zui小可以測到10^-4Torr，對應(yīng)INFICON滿量程10Torr的CDG025D，其zui小可以測到10^-3Torr。不過，光伏行業(yè)的PECVD工藝通常真空度不會低于1Pa，常用在50-300Pa，所以，兩者都可以滿足。

    在精度方面626B的精度為0.25%，CDG025D的精度為0.2%，CDG025D略高一些，不過相差不大，可相互替代。MKS的627D是加熱型電容薄膜規(guī)，精度為0.12%，與INFICON的CDG045D類似，不過這2款的價格要高很多。

    流量計方面，除了MKS的1179B系列以外，為節(jié)約成本，國內(nèi)的設(shè)備商業(yè)找到想要的替代產(chǎn)品，如BROOKS，Horiba，日本山武，Alicat等 其他品牌可根據(jù)zui終用戶的要求來選擇，不過總體來說在PECVD的應(yīng)用上，MKS的流量計用得zui多，性能zui穩(wěn)定，。