實驗原理：
納米壓痕儀技術(shù)又稱深度敏感壓痕技術(shù)，它經(jīng)過核算機(jī)控制載荷連續(xù)變化，并在線監(jiān)測壓入深度。-一個完好的壓痕進(jìn)程包含兩個進(jìn)程，即所謂的加載進(jìn)程與卸載進(jìn)程。在加載進(jìn)程中，給壓頭施加外載荷，使之壓入樣品外表，跟著載荷的增大，壓頭壓入樣品的深度也隨之增加，當(dāng)載荷抵達(dá)zui大值時，移除外載，樣品外表會存在殘留的壓痕痕跡。
隨著實驗載荷的不斷增大，位移不斷增加，當(dāng)載荷抵達(dá)zui大值時，位移亦抵達(dá)zui大值即zui大壓痕深度maxh；隨后卸載，位移zui終回到一固定值，此刻的深度叫殘留壓痕深度rh，也便是壓頭在樣品上留下的永jiu塑性變形。
納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性。可適用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。
技術(shù)特點：
整個系統(tǒng)的標(biāo)定可以由用戶獨立完成。同時，基于系統(tǒng)穩(wěn)定性，可以確保用戶對他們的測試結(jié)果非常自信。
用戶可以快速、便捷的在不同測試模塊間進(jìn)行切換，這保證了系統(tǒng)在時間上的*利用率。
軟件系統(tǒng)提供了大量的可選參數(shù)，讓用戶可以大限度的靈活設(shè)定實驗設(shè)計。
750℃的高溫測量
在高達(dá)750℃的高溫環(huán)境中進(jìn)行真正的深度感測的納米壓痕測試。
同時加熱壓頭和樣品，確保壓痕測試過程中壓頭和樣品是等溫接觸，無熱傳導(dǎo)。
液體測量池
模擬活體或其他潤滑/液體服役環(huán)境中的測量。液體可以加熱到人體溫度。
加載-部分卸載技術(shù)
在幾分鐘內(nèi)生成硬度、模量隨深度變化的曲線。這一測量技術(shù)是壓痕測試模塊中的標(biāo)準(zhǔn)配置。
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