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岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司

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岱美中國拿到半自動多點膜厚測量儀訂單(2023,06)

時間：2023-09-01
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該客戶系湖北武漢的上市公司，是一家從事半導(dǎo)體工藝制程材料、半導(dǎo)體先進封裝材料、半導(dǎo)體顯示材料生產(chǎn)和研發(fā)的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司在湖北省、長三角、珠三角廣泛布局，總資產(chǎn)超50億元。

Thetametrisis膜厚測量儀主要應(yīng)用于客戶自研自產(chǎn)的光刻膠涂層材料。

ThetaMetrisis的核心技術(shù)是白光反射光譜（WLRS），它可以在從幾埃到毫米的超寬范圍內(nèi)準確測量堆疊薄膜和厚膜的厚度和折射率。


FR-Scanner為半自動測量設(shè)備，通過移動晶圓片進行整片掃描記錄測量數(shù)據(jù)，具有高重復(fù)性、精確的反射率測量表現(xiàn)能力。薄膜從幾nm到幾百μm均可測量。FR-Scanner在準確性、精度、再現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面提供了出色的性能。


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