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氣體質(zhì)量流量控制器,日本小島KOFLOC氣體質(zhì)量流量控制器,日本進口氣體質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 上海華械自動化設備有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 日本原裝進口
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2017/10/28 1:34:32
- 訪問次數(shù) 4427
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質(zhì)量/浮子/渦輪/渦街流量計、流量/壓力/溫度/位置開關(guān)傳感器、安全閥/單向閥/電磁閥/比例閥/針閥、控制儀表、記錄儀、直線導軌、滾珠絲桿、壓力表
氣體質(zhì)量流量控制器,日本小島KOFLOC氣體質(zhì)量流量控制器,日本進口氣體質(zhì)量流量控制器
氣體流量控制器,日本小島KOFLOC氣體流量控制器,日本進口氣體流量控制器
氣體質(zhì)量流量控制器,日本小島KOFLOC氣體質(zhì)量流量控制器
氣體質(zhì)量流量控制器因有控制器精度高,重復性好,反應速度快。它適合半導體,CVD,擴散,真空鍍膜,色譜、光纖熔煉,分析儀器,燃料電池,液晶屏,有機EL,生物工程,等離子蝕刻,環(huán)境測試,燃燒氣體控制,試驗設備,焊接,微反應裝置、配氣和混氣系統(tǒng)等各個環(huán)節(jié)、各個制造過程中的流量控制。氣體質(zhì)量流量控制器所用的傳感器是熱式流量傳感器,熱式質(zhì)量流量計是利用傳熱原理,即流動中的流體與熱源(流體中加熱的物體或測量管外加熱體)之間熱量交換關(guān)系來測量流量的儀表。
工作原理
流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓/電流進行比較,再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使用之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量??刂破鬏敵龅牧髁克z測電壓/電流與流過通道的質(zhì)量成正比,滿量程(F.S)流量檢測輸出電為+5V或20MA。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S ( 程比為50:1 ),流量分辨率是0.1% F.S。
品牌:日本小島KOFLOC(創(chuàng)立于1949年),氣體質(zhì)量流量控制器
型號:3660系列、8500系列、HFC-303系列、3810DS系列
類型:MFC氣體流量控制器/質(zhì)量流量計
控制范圍:0.02ML—1000L/MIN
精度等級:0.2%FS—1.5%FS
響應速度:0.5-1秒
適用介質(zhì):所有氣體(含腐蝕和有毒氣體)
模擬信號:0-5V、4-20MA(可選)
氣路密封:氟橡膠、全金屬密封等等
氣路連接:1/2;1/4;1/8;3/8卡套、RC1/2;1/4、1/4;3/8VCR
工作壓差:2KPA—300KPA(同行業(yè)中可做到的zui小壓差)
氣路材質(zhì):SUS316
通信接口:RS-485、RS-232
產(chǎn)品氣密:1×10-11Pa·m3/s 或 1×10-8Pa·m3/s
耐壓:1.0Mpa(常壓)、3.4-6.8MPa(高壓大流量)
電壓:24V、±15V
特點:
1:另外配有LED數(shù)字顯示,產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕,極其容易操作(另有分體式可選擇,顯示操作部分和控制器部分可分離)
2:氣體質(zhì)量流量控制器也可配置手動旋鈕式調(diào)節(jié)針閥,從而來時時調(diào)節(jié)流量大?。?810DS系列—低價格)
3:氣體質(zhì)量流量控制器采用直接質(zhì)量流量測量,因此實現(xiàn)了不受溫度、壓力變動影響的精確測量
4:氣體質(zhì)量流量控制器配有RS-485/232接口,能于其他外部設備實現(xiàn)通訊
5:氣體質(zhì)量流量控制器裝備自動調(diào)零功能,內(nèi)裝微處理器,達到高功能化
6:高分辨能力(14位以上),通過采用AD、DA,能夠達到高精度應對
7:氣體質(zhì)量流量控制器能夠設定裝置編號;通過CF值應對氣體種類
小島KOFLOC還有《轉(zhuǎn)子、浮子流量計/控制器》、《比例電磁閥》、《精密針閥》等等...
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柯 keyong0519
(超小體積)
(大流量系列)
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