項(xiàng)目：M２１０0V型、M２１０0A
　　1、流量規(guī)格（N2）：２５sccm～１２０slpm
　　2、準(zhǔn)確度：±1％F.S（Full　Scale）
　　3、重復(fù)精度：±0.25％　FS（Full　Scale）
　　4、響應(yīng)時(shí)間：≤3sec（特別要求：≤1sec）
　　5、耐壓：zui高：95　bar
　　6、工作環(huán)境溫度：5℃～65℃
　　7、輸入輸出信號(hào)：0～5Vdc　or4～20mA
　　8、電源：±15Vdc，350mA

范

  1. 用途及特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量控制器（ Mass Flow Controller 簡(jiǎn)稱(chēng)MFC ）能夠在較大的量程

范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

氣體質(zhì)量流量計(jì)（ Mass Flow Meter 簡(jiǎn)稱(chēng)MFM ）能夠在較大的量程范圍內(nèi)

對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。

它們?cè)谑I(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和

真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝

設(shè)備，如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.致力于對(duì)產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對(duì)M 系列氣

體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）進(jìn)行了全新的技術(shù)改造，

在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。

M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重

復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)（可以在高壓或真空條件下

工作），其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自

動(dòng)控制。