UTM70B 日本ULVAC愛發(fā)科復(fù)合渦輪分子泵
參考價(jià) | ¥ 5000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 UTM70B
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/6/23 14:25:00
- 訪問次數(shù) 32
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光學(xué)設(shè)備,電子計(jì)測儀器,科學(xué)儀器,實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,機(jī)械加工設(shè)備,環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科復(fù)合渦輪分子泵
日本ULVAC愛發(fā)科復(fù)合渦輪分子泵
特征
自由安裝
安裝方向不受限制 由于安裝方向自由,系統(tǒng)設(shè)計(jì)的自由度很高。
板載控制器
集成控制器能夠減少電線工作并縮小泵送系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比和高背壓
高壓縮比使得泵能夠在高背壓下運(yùn)行并縮小其
前級泵的尺寸。
三種法蘭
入口口法蘭可從 ISO-K、ICF 和 VG 中選擇。
清潔的真空環(huán)境
在泵運(yùn)行和停止時(shí),碳?xì)浠衔餁怏w的回流較少。
低噪音
空載時(shí)的噪音水平為 48dB 或更低(帶 ISO63-K 法蘭)
應(yīng)用
用于分析設(shè)備、研發(fā)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主要泵送系統(tǒng)。
蒸發(fā)器和濺射設(shè)備等的主泵送系統(tǒng)
主泵送系統(tǒng),用于抽空 H2、He 等低分子氣體
規(guī)格
型 | UTM70B 系列 | UTM300B | |||||
泵 | 咕咕法 | 自然風(fēng) 冷 | 強(qiáng)制風(fēng) 冷 | 自然風(fēng) 冷 | 強(qiáng)制風(fēng) 冷 | ||
法蘭尺寸 | 入口 *1 | VG65、ICF114、ISO063-K | VG100、ICF152、ISO100-K | ||||
出口 | KF16 系列 | KF16 系列 | |||||
抽速 (無 保護(hù)網(wǎng)) | 注2 | 70 升/秒 | 280 升/秒 | ||||
他 | 60 升/秒 | 270 升/秒 | |||||
H2 型 | 49 升/秒 | 220 升/秒 | |||||
極限 壓力 *2 | 烘烤后 | - *3 | 10-8帕 | - *3 | 10-8帕 | ||
烘烤 | 10-6帕 | 10-6帕 | 10-6帕 | ||||
最大壓縮率 | 注 2 : >1×109, 他 : 4×107、H2 : 4×105 | 注 2 : >1×109, 他 : 7×106,H2 : 1×105 | |||||
入口 處的最大壓力 *4, *5, *6 | 注2 | 0.43帕 | 1.1帕 | 0.06帕 | 0.7帕 | ||
出口 處的最大壓力 *4, *5, *7 | 注2 | 300帕 | 900帕 | 100帕 | 1000帕 | ||
連續(xù) 運(yùn)行 最大 流量 *8 | 無 氣體吹掃 | 注2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10 厘米 *10 | 100 平方厘米 *10 | |
無 氣體吹掃 | 氦氣 | - | 10sccm *9 | - | 30 厘米 *10 | ||
帶 氣體吹掃 | - | 15sccm *9 | - | 40 厘米 *10 | |||
推薦前級泵 (抽真空 10SCCM 時(shí)) *11 | >60升/分鐘 | >120升/分鐘 | |||||
重量 | VG:3.3kg, ISF:3.0kg, ISO:5.0kg | 6.0 公斤 / 9.0 公斤 | 6.3 公斤 / 9.3 公斤 | ||||
轉(zhuǎn)速 | 87000轉(zhuǎn) | 60000轉(zhuǎn) | |||||
啟動(dòng)時(shí)間(高達(dá) 80%) (DC24V.背壓:5Pa 或更低) | 1.7 分鐘 | 3.5 分鐘 | |||||
表面處理 *12 | 沒有 | ||||||
安裝方向 | 自由方向 | ||||||
噪聲 *13 | <48分貝(A) | <50分貝(A) | |||||
控制器 | 輸入電源 | DC24V ±5%,120W | DC24V ±5%,180W | ||||
觸點(diǎn)輸入和輸出 信號 | REMOTE(D-sub 15 pin 公頭) 數(shù)字輸入:4 點(diǎn)。輸出:4 點(diǎn)。模擬輸出:1 點(diǎn)。 | ||||||
串行通信 | RS-485(D-sub 15 針公頭,與 REMOTE 共享) | ||||||
LED 顯示屏 | 電源、正常、警報(bào) | ||||||
開關(guān) | 啟動(dòng)/停止,重置 | ||||||
可變旋轉(zhuǎn)頻率/速度 | 運(yùn)行轉(zhuǎn)速數(shù) 可以從泵規(guī)格的 25% 到 100% 之間以 0.1% 的步長變化。 | ||||||
異常作 檢測 | 檢測警報(bào)和警告。 | ||||||
保護(hù)電路 | 指示警報(bào)和警告。 | ||||||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 使用說明書(CD-R)、保護(hù)網(wǎng)(墊圈中僅內(nèi)置 VG 和 ICF、 ISO 法蘭保護(hù)網(wǎng))、 墊圈(入口法蘭)、防塵帽(入口、出口和連接器) | ||||||
適用標(biāo)準(zhǔn) | CE、TUVus |
*1 | 訂購時(shí)請選擇入口 flenge。 |
*2 | 使用 2 級真空泵作為背泵計(jì)算。 |
*3 | 烘烤僅適用于帶 ICF 法蘭的強(qiáng)制風(fēng)冷型。 |
*4 | 周圍空氣溫度時(shí)的值為 25°C。如果環(huán)境空氣溫度發(fā)生變化,可接受的值將發(fā)生變化。 |
*5 | 最大出口壓力和最大入口壓力不能同時(shí)滿足。 |
*6 | 最大進(jìn)氣口壓力,可接受連續(xù)運(yùn)行。 |
*7 | 當(dāng)來自入口的氣流為 0 sccm 時(shí),排氣口的最大壓力可以接受連續(xù)運(yùn)行。 |
*8 | 環(huán)境溫度為 5~25°C 時(shí)的值。此外,應(yīng)使用 N2 進(jìn)行氣體吹掃,其流速應(yīng)為 25 sccm。 |
*9 | 使用 60L/min 真空泵作為背泵測量的真空。 |
*10 | 使用 120L/min 真空泵作為背泵測量的真空。 |
*11 | 選擇合適的前級泵,以便在氣體流量增加時(shí),不要將排氣口壓力保持在低于最大排氣口壓力。 |
*12 | 請勿流動(dòng)反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體和含有鎵的氣體。使用其他氣體時(shí),請與我們聯(lián)系。 |
*13 | 該值根據(jù) ISO 法蘭類型的 ULVAC 標(biāo)準(zhǔn)測量。 |
尺寸圖
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