測量

范圍

Z軸(垂直)

160μm（6300μin）

X軸(水平)

17.5mm（ 0.71 inch）

分辨率

Z軸

（垂直）

0.001μm/±20μm

0.002μm/±40μm

0.004μm/±80μm

0.008μm/±160μm

測量

項目

參數(shù)

Ra   Rz     Rq    Rt   Rmax    Rc

Rp   Rv     R3z   R3y  Rz(JIS)  Ry(JIS)

Rs   Rsk    Rku   Rsm  Rmr

RPc  Rk     Rpk  Rvk   Mr1     Mr2

標準

ISO4287國際標準；ANSI B46.1美國標準；

DIN4768德國標準；JIS B601日本標準

圖形

支承率曲線（負荷曲線），粗糙度曲線，原始輪廓，濾波波形，振幅分布曲線（ADC曲線）

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n    n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，針尖半徑5μm

測力

<4mN

導(dǎo)頭

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm，壓力<0.5N

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,    Vt=1mm/s

返回      Vt=1mm/s

示值精度

0.001μm

示值誤差

±(5nm+0.1A)      A:多刻線樣板參數(shù)Ra的標準值

示值變動性

不大于3%

殘余輪廓

不大于0.01μm

電源

內(nèi)置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電

外形尺寸

158×63.5×46mm

重量

約300g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃ ~  40℃     濕度：< 90% RH

儲存運輸環(huán)境

溫度：- 40℃  ~   60℃   濕度：<   90% RH

可選配件

曲面?zhèn)鞲衅?、極小孔傳感器、深槽傳感器、延長桿、轉(zhuǎn)接桿、微型打印機、200mm測量平臺、300mm大理石測量平臺、專用高度尺測量支架、專用磁力表座支架。

參    數(shù)

顯 示 范 圍

Ra     Rq

0.005μm  ~  16μm

Rz     R3z

0.02μm  ~  160μm

Ry    Rt    Rp    Rm

0.02μm  ~  160μm

RS    RSm

0.02-1000μm