CY-SPC-SS 全自動(dòng)勻膠機(jī)旋涂?jī)x
參考價(jià) | ¥ 20000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CY-SPC-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/12 10:27:34
- 訪問(wèn)次數(shù) 52
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詳情介紹:
全自動(dòng)勻膠機(jī)旋涂?jī)x是一種實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,主要用于制備薄膜材料,其應(yīng)用范圍包括制備太陽(yáng)能電池,制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物、聚合物等材料的薄膜,制備納米材料、納米結(jié)構(gòu)、納米薄膜等。在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中,勻膠機(jī)旋涂?jī)x是關(guān)鍵設(shè)備。例如在光刻工藝之前,需要使用它在硅片表面均勻地涂覆光刻膠。光刻膠的厚度均勻性對(duì)于芯片的精度和性能至關(guān)重要。高精度的全自動(dòng)勻膠機(jī)能夠精確控制光刻膠的厚度,誤差可以控制在極小范圍內(nèi),確保在后續(xù)光刻過(guò)程中能夠精確地將電路圖案轉(zhuǎn)移到芯片上。而且,對(duì)于不同尺寸的硅片(如從較小的芯片試驗(yàn)片到大型的量產(chǎn)硅片),都可以通過(guò)調(diào)整旋涂參數(shù)實(shí)現(xiàn)良好的涂覆效果。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、專業(yè)級(jí)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),高精度、高重復(fù)性
2、人性化設(shè)計(jì),ARM控制,安卓全彩觸屏操作
3、不銹鋼內(nèi)腔,陽(yáng)極氧化處理面板,美觀、整潔
4、可連續(xù)、自動(dòng)供膠,滿足工業(yè)用途
5、可添加防濺罩式清洗和顯影功能,滿足定制需要
6、適合處理超大或超重底物,*大處理12寸圓形底物
7、更大尺寸和重型底物以及內(nèi)腔抽真空等要求均可定制
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 全自動(dòng)勻膠機(jī)旋涂?jī)x |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-SPC-SS |
供電電壓 | AC220V 50Hz |
基片尺寸 | 6寸、8寸鋁合金真空載物盤 |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼 |
轉(zhuǎn)速 | 20-5000rpm |
轉(zhuǎn)速分辨率 | ±lrpm |
加速度可調(diào)范圍 | 20-10000rpm/s |
單步時(shí)長(zhǎng) | 3000s |
時(shí)間分辨率 | 0.1s |
編程 | 可編程100組100步程序 |
點(diǎn)膠端口 | 可擴(kuò)展帶四路自動(dòng)點(diǎn)膠端口 |
點(diǎn)膠功能 | 可升級(jí)多路自動(dòng)點(diǎn)膠功能 |
滴膠方式 | 自動(dòng) |
操作方式 | 液晶屏操作系統(tǒng) |