| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,電氣 |
愛拓利電子設(shè)備有限公司是一家擁有自主研發(fā)能力的生產(chǎn)銷售于一體的專注微小氣體質(zhì)量流量控制器廠家，現(xiàn)在公司主推MFC330和MFC300兩個系列熱式氣體質(zhì)量流量計MFM，流量控制器MFC。
MFM330 系列氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)
2 sccm – 500 slpm 滿量程
主要參數(shù) SENSOR PERFORMANCE | |
介質(zhì)要求 Applicable media | 潔凈干燥無氣體 Clean, dry gases |
氣體種類 Gas type | 98+氣體可選 Available for 98 types of gas |
量程 Full scale（N2 equivalent） | 0-5, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50 slpm |
測量范圍Measurement range | 0.5%-100 % F.S. |
準確度 Accuracy | ±0.5% F.S. |
重復(fù)精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
線性度Linearity | ±0.2% F.S. |
分辨率 Resolution ratio | 0.001 sccm (<10L/min), 1sccm(10-50L/min) |
傳感器響應(yīng)時間 Sensor response time | <1s |
預(yù)熱時間 Warm-up time | 5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy |
泄露率 Leak integrity | 1*10-11 Pa·m3/sec He |
機械特性 MECHANICAL | |
工作壓力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作溫度范圍Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas) |
濕度范圍 Relative humidity range | 0 - 98% 無凝露 No-condensing |
氣路接頭類型Process connections | 快插、快擰、卡套、 VCR （可選） (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
氣體接觸材質(zhì)Wetted Materials | 氟橡膠、316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材質(zhì) Seals | 氟橡膠 FKM |
防護等級 Ingress protection (housing) | IP40 |
安裝方式 Mounting | 水平安裝方向校準 Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
|
重量 Weight | 0.82 kg |
電氣和通訊 COMMUNICATIONS | |
電氣連接接口類型Electrical connection | DB – 9公頭 (Male) |
模擬信號 Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA （可定制） |
輸入輸出阻抗 Impedance resistance | 輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ |
模擬數(shù)據(jù)更新頻率Analog data update rate | 200Hz |
數(shù)字信號 Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN (CAN) |
通信速率 Digital data update rate | 9600(default), 14400, 19200, 38400, （可修改） |
電源 Power requirements | 15 – 40 VDC,<200 mA |
顯示更新頻率Display update rate | 50Hz |
模擬信號精度 Analog signal accuracy | ± 0.05%F.S. |
特征 FEATURES | |
標況 STP reference conditions | 20℃ and 1 atm |
氣體選擇Gas Select | 98種氣體可選，具體參考說明書氣體系數(shù) 98 user selectable gases stored internally, refer to the Gas Correction Factors |
軟件Software | Aitoly 分階流量軟件 |
尺寸 DIMENSIONS | Weight | ||||||||
Full scale flow | Height | Width | Depth | A | B | C | D | E | 重 量 |
5 sccm~50 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm |
| ≈0.82 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in |
| ≈2.1 lb | |
100slpm-500slpm | 138mm | 82mm | 38mm | 62mm | 30mm | 4mm | 10mm |
| 1kg |
5.43in | 3.22in | 1.496in | 2.440in | 1.181in | 0.157in | 0.393in |
| 2.21lb | |
MFM330氣體質(zhì)量流量計（以下簡稱MFM330），主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量測量更加精準、穩(wěn)定和簡便，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值外，進一步對氣體流量測量進行溫壓補償；支持多種通訊協(xié)議，可以方便高效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機等進行通訊；具有多氣體測量，高精度，高穩(wěn)定性，極低零漂等特性。
愛拓利具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件研發(fā)水平， 擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的氣體質(zhì)量流量計及控制器核心部件（高精度氣體質(zhì)量流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產(chǎn)設(shè)備，是國內(nèi)少數(shù)能夠全面自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)之一?！耙躁P(guān)鍵技術(shù)自主研發(fā)為核心使命、以市場為導(dǎo)向”，愛拓利致力于為用戶提供精準、穩(wěn)定、可靠的標準化產(chǎn)品、定制化服務(wù)和解決方案。
愛 拓 利 精 準 流 量 測 控 AITOLY INSTRUMENTS由蘇 州 愛 拓 利 電 子 設(shè) 備 有 限 公 司 及 無 錫 愛 拓 利 電 子 科 技 有 限 公 司 組 成 。 總 部 蘇 州 愛 拓 利 位 于 蘇 州 市 吳 江 區(qū) 柳 胥 路 9 9 號 半 導(dǎo) 體 智 能 制 造 創(chuàng) 新 港 。 分 公 司 無 錫 愛 拓 利 成 立 于 2017 年 ， 位 于 無 錫 新 吳 區(qū) 清 源 路 20號大 學(xué) 科 技 園 。 愛 拓 利 精 準 流 量 測 控 AITOLY INSTRUMENTS，專業(yè)從 事 氣 體 質(zhì) 量 流 量 測 量 與 控 制 。 愛 拓 利 擁 有 自 己 的 研 發(fā) 團 隊 ， 具 有 高 水 平 的 產(chǎn) 品 設(shè) 計 、 結(jié) 構(gòu) 、 硬 件 和 軟 件 等 研 發(fā) 能 力 ， 是 國 內(nèi) 少 數(shù) 能 夠 自 主 研 發(fā) 生 產(chǎn) 高 精 度 氣 體 質(zhì) 量 流 量 計 和 氣 體 質(zhì) 量 流 量 控 制 器 的 企 業(yè) ， 更 是 國 內(nèi) 極 少 數(shù) 能 夠 自 主 研 發(fā) 生 產(chǎn) 氣 體 流 量 計 及 流 量 控 制 器 核 心 部 件 （ 高 精 度 氣 體 流 量 傳 感 器 和 高 穩(wěn) 定 性 微 型 比 例 閥 ） 的 氣 體 流 量 控 制 產(chǎn) 品 生 產(chǎn) 廠 家 . 愛 拓 利 質(zhì) 量 流 量 計 及 控 制 器 被 廣 泛 應(yīng) 用 于 半 導(dǎo) 體 、 光 伏 、 真 空 鍍 膜 、 生 命 科 學(xué) 、 燃 料 電 池 、 精 度 分 析 儀 器 、 石 化 、 制 氣 、 醫(yī) 療 、 食 品 、 工 業(yè) 自 動 化 控 制 等 行 業(yè) 。 在 不 斷 追 求 創(chuàng) 新 和 突 破 的 同 時 ， 愛 拓 利 十 分 注 重 產(chǎn) 品 品 質(zhì) 。 愛 拓 利 有 一 套 嚴 謹 科 學(xué) 的 檢 測 標 準 和 質(zhì) 量 控 制 體 系 ， 并 通 過 了 ISO9001質(zhì)量體系認證 。 通 過 標 準 化 生 產(chǎn) ， 規(guī) 范 化 管 理 ， 愛 拓 利 持 續(xù) 穩(wěn) 定 地 向 顧 客 提 供 高 質(zhì) 量 的 合 格 產(chǎn) 品 。 通 過 多 年 的 研 發(fā) 、 生 產(chǎn) 和 應(yīng) 用 經(jīng) 驗 積 淀 ， 愛 拓 利 先 后 推 出 了 多 款 氣 體 質(zhì) 量 流 量 計 和 控 制 器 。 支 持 多 種 通 訊 協(xié) 議 ， 氣 體 種 類 覆 蓋 面 廣 、 控 制 及 測 量 精 度 高 、 響 應(yīng) 速 度 快 、 性 能 穩(wěn) 定 。
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