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BTF-1600C-CVD-D2 1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)

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BTF-1600C-CVD-D2多源CVD系統(tǒng)

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      安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

      公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,累計(jì)獲得patent200余項(xiàng)。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
      公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,市場營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
      連年來,公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項(xiàng)榮譽(yù)。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機(jī),陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,綜合

1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)

這是一臺1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)。本設(shè)備按客戶要求加裝剛玉管一支,加熱爐,循環(huán)泵、排風(fēng)系統(tǒng)、機(jī)架等。電氣控制采用內(nèi)置控溫儀表,其控溫精準(zhǔn)且操作直觀簡便。爐管為剛玉管,外徑¢60m,長度1000mm。爐管橫放固定于爐膛內(nèi)。左端法蘭為進(jìn)氣端,配有壓力保護(hù)組件和2個進(jìn)氣口,其中一路由截止閥控制,為進(jìn)混氣;另外一路為環(huán)硼氮烷,通過電磁閥+單向閥控制;右端法蘭為出氣端,配有蝶閥控制的壓力控制系統(tǒng)和真空泵組成,法蘭前端配有攪拌機(jī)構(gòu),對于尾端沉積物料具有清理作用,同時配有過濾組件。設(shè)備進(jìn)氣端液態(tài)源蒸發(fā)組件制冷制熱由循環(huán)泵工作,通過循環(huán)泵工作,以及管道保溫及腔體保溫隔絕等方法實(shí)現(xiàn)低溫、高溫下的切換。液態(tài)源密封腔室和加熱爐密封腔室,均通過PVC管道連接至腔室頂部,通過管道風(fēng)機(jī)與客戶排風(fēng)系統(tǒng)對接。這臺1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)設(shè)備采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式。爐體和門板顏色采用深灰+時尚橘紋白。設(shè)備簡約又不乏穩(wěn)重,更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。


1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)

額定功率

6.5KW

額定電壓

 AC 220V 50/60Hz

最高溫度

1600℃

使用溫度

≤1350℃

推薦升溫速率

1400℃以下≤10℃/min;1400℃-1600℃≤5℃/min

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制

加熱區(qū)長度

300mm

爐管尺寸

剛玉管Φ60×1000mm

1600℃多源高溫CVD系統(tǒng)

熱電偶

B型熱電偶

控溫精度

±1℃

加熱元件

硅鉬棒(6根)

爐體尺寸

1930*1450*1935mm

凈重

500Kg




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