日本unozawa干式真空泵用于清潔工藝非腐蝕 TS系列 特點介紹

這是一款“用于清潔工藝的ECO干式真空泵”，具有低功耗和出色的耐用性。

非常適合需要清潔真空、無油反擴散和高可靠性的非腐蝕性氣體應用。

日本unozawa干式真空泵用于清潔工藝非腐蝕 TS系列 規(guī)格參數(shù)

?低功耗

由于是多級羅茨型，因此可以大幅降低功耗。

?高耐久性

由于是帶有回流冷卻機構(gòu)的多級羅茨型，因此具有優(yōu)異的耐久性。

?泵內(nèi)不會產(chǎn)生清潔真空油的反擴散或灰塵。

?低噪音、低振動

轉(zhuǎn)子經(jīng)過嚴格平衡，標配排氣消音器。

?散熱性低

由于采用水冷方式，因此采用向周圍散發(fā)較少熱量的結(jié)構(gòu)。

?采用密封結(jié)構(gòu)密封電機，泄漏率小于E10 - 6Pa?m3/sec。

?維護間隔長

由于氣體接觸部分沒有滑動部件，因此可以長期連續(xù)運行。

?真空蒸鍍裝置、濺鍍裝置、

負載鎖合

裝置、等離子清洗裝置

、硅單晶拉制裝置、電子

束加工機

、氣體循環(huán)/回收裝置

、氣體置換

裝置、真空成型裝置

、真空吸附輸送裝置

、真空包裝裝置

、真空脫氣裝置等消泡

、真空冷卻

、分析設備、理化實驗設備

、低溫泵粗抽及再生

、各類粗抽、TMP背泵

、等潔凈真空設備

請將此真空泵用于清潔真空泵應用。

不得排放含有腐蝕性氣體、有毒氣體、易爆、溶劑等的氣體。