產(chǎn)品簡介：

可采用多種壓電自感應(yīng)探針的原子力顯微鏡（AFM），研究特質(zhì)、。實(shí)現(xiàn)形貌成像分析和譜曲線測量功能，測試環(huán)境免激光干擾，適合與光譜儀器聯(lián)用。

儀器特點(diǎn)

• 標(biāo)配支持多種壓電自感應(yīng)探針，包括Akiyama探針和WinSPM探針。

• 測量成像無需激光檢測，可避免環(huán)境光線對樣品及測量的影響。

• 內(nèi)部空間足夠安裝高倍光學(xué)物鏡，可實(shí)現(xiàn)與光譜儀器的共聚焦聯(lián)用。

• 采用超高精度嵌入式測控系統(tǒng)，主機(jī)隔音抗震，測量成像更精準(zhǔn)。

• 可選配平面閉環(huán)型掃描器、納米加工模塊和靜電力顯微鏡等模塊。

• 支持探針自制、功能定制和應(yīng)用拓展。

主要技術(shù)參數(shù)

• 一鍵式快速自動(dòng)進(jìn)樣，行程23mm，最小步距10nm。

• 手動(dòng)樣品調(diào)節(jié)二維臺，調(diào)節(jié)范圍±8.0mm。

• 樣品尺寸的直徑20mm，厚度20mm。

• 標(biāo)配管型掃描器，掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。

• 可配平面閉環(huán)型掃描器，掃描范圍約為30μm×30μm×9μm，閉環(huán)分辨率約1.5nm。

• 樣品逐行掃描成像，掃描成像速率0.1-30行/秒。

• 一次掃描多幅圖像，圖像分辨高達(dá)2048×2048物理象素。

• 自感應(yīng)探針采用頻率調(diào)制方式，數(shù)字化PID反饋控制的響應(yīng)時(shí)間為10μs。

• 嵌入式測控系統(tǒng)采用主頻為450MHz的雙核處理器（ARM + DSP），內(nèi)置數(shù)?；旌辖Y(jié)構(gòu)的鎖相放大器，與上位機(jī)連接采用以太網(wǎng)TCP/IP通訊協(xié)議。

• 聯(lián)用光學(xué)物鏡的最短工作距離僅需9.5毫米，能夠安裝放大倍數(shù)為100X的光學(xué)物鏡。

標(biāo)準(zhǔn)配置：

• 主控制器

• 主機(jī)底座及隔音罩

• 主機(jī)探頭及探針架（A型和D型）

• 樣品調(diào)節(jié)二維臺（調(diào)節(jié)范圍±8.0mm）

• 管型掃描器（掃描范圍20μm）

• 專用計(jì)算機(jī)及測控軟件

• 儀器附件

選配模塊：

• 與光譜儀聯(lián)用模塊，包含：光學(xué)物鏡及其位置調(diào)節(jié)平臺（調(diào)節(jié)范圍±5.5mm）、與光譜儀的光路適配、聯(lián)用測控所需的硬件與軟件

• 掃描隧道顯微鏡（STM）模塊，包括：掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、WinSPM T-Probe探針架

• 納米加工模塊，包括：圖形化納米加工、機(jī)械刻蝕、矢量掃描等功能

• 輔助觀察光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)：物鏡倍數(shù)：0.7X～4.5X；總放大倍數(shù)：42-266X連續(xù)可調(diào)（14”有效顯示面積）；工作距離：115mm

• 管型掃描器模塊：掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規(guī)格

• 平面閉環(huán)掃描器：掃描范圍為30μm×30μm×9μm，閉環(huán)分辨率約1.5nm，垂直方向的諧振頻率約40kHz

應(yīng)用領(lǐng)域及實(shí)驗(yàn)

• 實(shí)驗(yàn)一：在無環(huán)境光干擾的條件下研究材料表面的形貌等物性，典型的應(yīng)用領(lǐng)域包括：納米材料研究、光電/發(fā)光材料及器件、二維材料及器件、集成電路檢測。

• 實(shí)驗(yàn)二：納米微區(qū)的力學(xué)測量與分析，典型應(yīng)用包括：力梯度-距離曲線、納米力學(xué)實(shí)驗(yàn)研究、納米臺階或液膜厚度的測量分析，納米尺度粘彈物性的測量分析。

• 實(shí)驗(yàn)三：與光譜儀器的聯(lián)用，如與拉曼光譜聯(lián)用可原位測得納米微區(qū)的拉曼光譜，或開展針尖增強(qiáng)拉曼光譜（TERS）實(shí)驗(yàn)研究。（需增配與光譜儀聯(lián)用模塊）

• 實(shí)驗(yàn)四：掃描隧道顯微鏡（STM）應(yīng)用，包括形貌成像和隧道譜。（需增配STM模塊）

• 實(shí)驗(yàn)五：納米加工實(shí)驗(yàn)，如圖形化納米刻蝕實(shí)驗(yàn)研究。（需增配納米加工模塊） 

• 實(shí)驗(yàn)六：其它基于導(dǎo)電針尖的原子力顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域及實(shí)驗(yàn)，包括：導(dǎo)電原子力顯微鏡（C-AFM）、靜電力顯微鏡（EFM）、開爾文探針力顯微鏡（KPFM）等。（需增配或定制相應(yīng)的功能模塊）。