專業(yè)提供安捷倫氦檢漏儀維修，質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過(guò)程中，往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度，若對(duì)其置之不理還會(huì)危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的，掌握和了解檢漏儀常見(jiàn)故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開(kāi)展以及設(shè)備的保養(yǎng)。本文以氦質(zhì)譜檢漏儀為例，介紹了該型檢漏儀的工作原理及結(jié)構(gòu)組成，分析了檢漏儀5種常見(jiàn)故障的處理方法，總結(jié)了檢漏儀在使用過(guò)程中應(yīng)重點(diǎn)注意的事項(xiàng)。

氦檢漏儀維修故障與處理

1、檢漏儀內(nèi)部泄漏

(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)，位于隔熱板的上方。

①檢漏儀測(cè)試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運(yùn)輸過(guò)程中如遇到強(qiáng)烈震動(dòng)，此處容易造成密封膠開(kāi)裂。

②各電磁閥與閥門組件問(wèn)的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5年以上時(shí)，有可能會(huì)存在密封失效的問(wèn)題。

③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。