氧化釔 氟化釔 氟氧化釔 Y2O3 YOF Y5O4F7 YF3

氟氧化釔 YOF Y5O4F7 YF3 

作為半導體制造設(shè)備內(nèi)部的保護性涂層，半導體干蝕設(shè)備內(nèi)部暴于高反應性鹵素或氧系電漿。

若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以原本狀態(tài)使用，則會發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導體上之微觀電路的缺陷。

因此，于半導體制造設(shè)備之待外露的表面提供用以賦予抵御電漿的耐蝕性和保護設(shè)備之元件的保護性涂層。

此保護性涂層之一是對于種類繁多的電漿展現(xiàn)耐蝕性的氟氧化釔。

氟氧化釔 YOF Y5O4F7 YF3 

作為半導體制造設(shè)備內(nèi)部的保護性涂層，半導體干蝕設(shè)備內(nèi)部暴于高反應性鹵素或氧系電漿。

若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以原本狀態(tài)使用，則會發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導體上之微觀電路的缺陷。

因此，于半導體制造設(shè)備之待外露的表面提供用以賦予抵御電漿的耐蝕性和保護設(shè)備之元件的保護性涂層。

此保護性涂層之一是對于種類繁多的電漿展現(xiàn)耐蝕性的氟氧化釔。

化學式Y(jié)2O3，白色略帶黃色粉末，不溶于水和堿，溶于酸。主要用作制造微波用磁性材料和用重要材料（單晶；釔鐵柘榴石、釔鋁柘榴石等復合氧化物），也用作光學玻璃、陶瓷材料添加劑、大屏幕電視用高亮度熒光粉和其他顯像管涂料等。