DS-2000/14G型光刻機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 安徽智微科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/6/4 13:37:21
- 訪問(wèn)次數(shù) 2622
產(chǎn)品標(biāo)簽
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類(lèi) | 微流控芯片系統(tǒng) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子/電池 |
產(chǎn)品名稱:DS-2000/14G型光刻機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo):
單次曝光面積:1.4mm×1mm;
大曝光基片:100mm ×100mm ;
對(duì)準(zhǔn)精度:±0.8μm(半自動(dòng)對(duì)準(zhǔn));
大膠厚:300μm(SU8膠);
自動(dòng)逐場(chǎng)對(duì)焦;
分辨力:1μm;
X、Y、Z、θ四自由度電動(dòng)位移臺(tái) ;
X、Y平移重復(fù)定位精度:0.65μm(3σ);
Z向運(yùn)動(dòng)精度:1μm。
DS-2000/14G型光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn):
該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的極紫外光作為光源,用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板,采用積木 錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明,并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(可同時(shí)使用),拼接獲得大面積圖形,曝光設(shè)定采用微機(jī)控制,菜單界面友好,操作簡(jiǎn)便。
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