LiteScope™

掃描探針顯微鏡的設(shè)計易于集成到電子顯微鏡中。 互補的SPM 和SEM 技術(shù)的結(jié)合使得能夠利用兩種常用顯微鏡技術(shù)的優(yōu)勢。

全面的樣本分析，包括：

• 表面形貌的表征

• 機械性能

• 電性能

• 磁性

LiteScope™還可以與其他SEM附件結(jié)合使用：

• 聚焦離子束（FIB)

• 氣體注入系統(tǒng)（GIS）

用于制造納米/微結(jié)構(gòu)和表面修飾。通過這種組合，LiteScope™可以輕松快速地對制造的結(jié)構(gòu)進行3D檢查。

其他優(yōu)勢

• 自感應(yīng)探頭，無需光學(xué)檢測，無需激光調(diào)整

• 商用探頭，多種測量模式

• 客戶定制的探頭可與根據(jù)客戶要求設(shè)計的合適探頭支架一起使用

• 測量頭可以縮回到LiteScope™的主體中，以釋放樣品周圍的空間

• SPM在傾斜位置（傾斜0°– 60°）的操作，小值 WD = 5毫米

• 用戶友好的軟件，無需特殊安裝

• 遠程訪問結(jié)果和測量設(shè)置

相關(guān)探針 和電子顯微鏡（CPEM）已開發(fā)用于使用相關(guān)成像技術(shù)，并帶來了解決方案，該解決方案可以同步：

• 掃描區(qū)域

• 分辨率和圖像失真

• 并能夠?qū)崟r關(guān)聯(lián)采集的SPM和SEM圖像

NenoVision引入了CPEM技術(shù)

CPEM技術(shù)

CPEM可以在同一時間和同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)中同時通過SEM和SPM對一個區(qū)域進行同時的表面表征。

以已知的恒定偏移量和相同的分辨率進行同時掃描，可確保在同一表面上進行分析，并可通過我們的NenoView軟件直接用于在線成像。

LiteScope™數(shù)據(jù)

LiteScope™通常用于高真空中，但也可根據(jù)要求適用于超高真空條件。

• 總重量：1 kg

• 真空工作范圍：10e5 Pa至10e-5 Pa

• 掃描范圍X，Y，Z：100×100 ×1 00μm或38x38x38μm

• 分辨率：高達0.4 nm或0.07 nm

• 大樣品尺寸：10毫米× 10毫米

• 大樣品高度：8毫米

我們提供*非磁性的版本，也可根據(jù)要求提供閉環(huán)。

• 外形小巧，體積小， 可集成到SEM / FIB儀器中

• 易于集成的過程 –安裝在SEM / FIB機械手上

• 當(dāng)整個SPM探針隱藏在LiteScopeTM主體中時，可使用對接選項

• 通用探頭支架，適用于多種SPM方法并易于“即插即用”組裝

• 樣品傾斜高達60°

• 針對低振動水平（剛度和適當(dāng)?shù)墓舱耦l率）進行了優(yōu)化的機械設(shè)計，集成了前置放大器（以盡可能消除信號失真/噪聲）

• 動態(tài)測量的大PLL頻率為75 kHz，適用于基于音叉的探頭（或使用外部PLL或根據(jù)客戶要求更高）

• 每個掃描軸2 × 16位DAC（掃描范圍，偏移），以在視場內(nèi)的任何地方達到大分辨率

• 6 × 16位輔助輸入，用于同時測量用戶信號（±10 V）

• 輸入通道可用于反饋回路混頻器

• 探頭信號輸出/監(jiān)控

• 外部探頭激勵

• 使用外部鎖定/ PLL所需的所有連接

• 以太網(wǎng)連接到控制PC

• 110 VAC或230 VAC操作，200 W

• 前置放大器位于LiteScope™的主體內(nèi)，可確保大大降低電噪聲

• 保存數(shù)據(jù)以及所有信息，包括測量設(shè)置

• 基于Web的用戶界面

• 易于新用戶使用，對專家靈活

• 用戶帳戶可單獨配置

• 遠程訪問用戶數(shù)據(jù)

• 將數(shù)據(jù)從控制PC下載到本地計算機

• 通過平板電腦，智能手機等進行遠程實驗控制

• 集成的數(shù)據(jù)后處理，分析，導(dǎo)出等

成像模式

LiteScope™提供并支持各種SPM測量方法和探頭。

其設(shè)計的基石和有價值的技術(shù)特征是通用探頭支架，可以非常輕松地“即插即用”安裝不同的探頭。