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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐>qirui RTP-150快速退火爐

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qirui RTP-150快速退火爐

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海騏銳信息科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 qirui
  • 產(chǎn)地 上海
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2020/10/31 15:35:51
  • 訪問次數(shù) 3136
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RTP-150快速退火爐

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上海騏銳信息科技有限公司專注于行業(yè)領(lǐng)域,高低溫介電常數(shù)/高低溫下電性能測試系統(tǒng)/工業(yè)自動化/精密儀器/航空航天高性能材料測試系統(tǒng)、傳感器生產(chǎn)與技術(shù)服務(wù)。我們以技術(shù)創(chuàng)新為核心驅(qū)動力,致力于為客戶提供高效、智能、定制化的設(shè)備解決方案,助力全球客戶提升生產(chǎn)效率、優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量并實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。

核心技術(shù)優(yōu)勢:

? 研發(fā)實力

擁有一支由資深工程師、行業(yè)專家及高??蒲袌F(tuán)隊組成的復(fù)合型研發(fā)團(tuán)隊,累計獲得多項發(fā)明專利及實用新型專利

? 技術(shù)亮點(diǎn)

自主研發(fā)核心產(chǎn)品技術(shù),如:高低溫下介電常數(shù)/材料電性能高低溫測試/模塊化設(shè)備架構(gòu)/能耗優(yōu)化系統(tǒng)等。

采用數(shù)字化仿真/工業(yè)大數(shù)據(jù)分析/虛擬調(diào)試等先進(jìn)技術(shù),縮短研發(fā)周期30%以上。

? 產(chǎn)學(xué)研合作

與高校/科研院所名稱建立合作,共同攻關(guān)行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)難題。

 

產(chǎn)品與服務(wù)體系:

?? 核心產(chǎn)品線

1. 智能生產(chǎn)線集成:面向制造業(yè)的自動化裝配、檢測及自動化測試系統(tǒng)。

2. 專用設(shè)備定制:材料測試系統(tǒng)、半導(dǎo)體精密加工設(shè)備、新能源電池模組封裝設(shè)備等。

3. 智能運(yùn)維平臺:設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控、預(yù)測性維護(hù)及數(shù)據(jù)分析服務(wù)。

?? 服務(wù)模式

- 全生命周期支持:從需求分析、方案設(shè)計到安裝調(diào)試、售后維保的一站式服務(wù)。

 

成功案例

研發(fā)的設(shè)備型號獲獎項/認(rèn)證

服務(wù)覆蓋行業(yè)領(lǐng)域,如:汽車制造/生物醫(yī)藥/光伏新能源頭部企業(yè)

我公司與以下國內(nèi)外廠商建立了長期合作關(guān)系:日本安立公司、美國泰克Tektronix 公司、南京盛普、Sample 公司 、美國福祿克Fluke 公司、北京普源精電 、Rigol公司、美國安捷侖Agilent公司、中國臺灣茂迪Motech公司、美國艾法斯 Aeroflex公司、 中國臺灣固緯Goodwill公司、美國吉時利Keithley公司、日本巖崎Iwatsu公司、美國國家儀器NI公司、日本愛德萬 Advantest公司、美國Magtrol公司、德國惠美Hameg公司、韓國Tescom公司、安徽41所、韓國金進(jìn) Jungjin公司、常州同惠等。

 

 

電子儀器儀表 材料測試

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣

RTP-150快速退火爐

升溫速度:150攝氏度每秒,可以用于大6英寸晶圓或者156mm x 156mm尺寸樣品熱處理。RTP-150可以支持惰性氣體保護(hù)、低真空或高真空熱處理。

技術(shù)規(guī)格:
- 溫度:1000攝氏度,或1200攝氏度(選配);
- 升溫速率:75攝氏度/秒,或150攝氏度/秒(選配);
- 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度);
- 溫控均勻性:≤ 1.5%設(shè)定溫度;
- 加熱方式:紅外鹵素?zé)?,頂部及底部加熱?br />- 燈管數(shù)量及功率:24支/21千瓦;
- 腔體冷卻:水冷方式;
- 襯底冷卻:氮?dú)獯祾撸?br />- 工藝氣路:MFC控制,多4路 (氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氮混合氣?;
- 主機(jī)尺寸及重量:505mm x 504mm x 420mm (W x D x H),約55Kg;


 RTP-150快速退火爐
儀器特點(diǎn):
- 快速退火爐,有惰性氣體保護(hù)、低真空型號(10-3 hPa)、高真空型號(10-6 hPa)等多個配置;
- 可在不同氣氛環(huán)境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;
- 控制方式:SIMATIC, SPS人機(jī)界面控制,7英寸觸摸屏;
- 可存儲50個程序,每個程序多分為50段控制;
- 全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環(huán)水均可自動設(shè)置;
- 優(yōu)異的溫控均勻性,的工藝重現(xiàn)性;
- 臺式設(shè)計;


 
應(yīng)用領(lǐng)域:
- 離子注入/接觸退火;
- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用;
- SiAu, SiAl, SiMo合金化;
- 低介電材料;
- 晶體化,致密化;
- 太陽能電池片鍵合;
等等...

 

相關(guān)分類

氧化擴(kuò)散設(shè)備


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