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干式真空泵
LS系列
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ulvacLS系列愛發(fā)科真空泵維修維修

LulvacLS系列愛發(fā)科真空泵維修維修S120
一種干式真空泵，可實現(xiàn)高速排氣和低功耗。四種型號的產品陣容使您可以根據(jù)設備的尺寸和工作條件選擇具有排量的泵。

使用方法
■高速排氣
●接近大氣壓的高排氣速度減少了排氣時間
■低功耗
●通過ECO-SHOCK技術（C規(guī)格）實現(xiàn)低功耗●
極限壓力下的功耗為0.6kW或更低（LS120A-C）
■低噪聲
配備的消音器●標準
在●終壓力時的噪聲值是61分貝的（a）以下
■運行成本降低
了傳統(tǒng)上需要●軸封氣體是不必要
※大號規(guī)范能夠流動吹掃氣體可能
■所有4種型號的產品陣容
●排氣速度為120至1200m3 / h級*與機械增壓泵組合
●可以根據(jù)應用選擇具有佳排氣量的型號
規(guī)格書
可以根據(jù)應用選擇2種類型的
C規(guī)格：清潔工藝（LS *** AC）
功能：內置ECO-SHOCK的低功耗類型
應用：
濺射/沉積/粘接/裝載清潔排氣（如排氣和N2排氣）鎖室/ TMP輔助等
。L規(guī)格：輕型工藝（LS *** AL）
特征：具有表面處理和吹掃功能的輕型工藝
應用：
真空干燥/冷凍干燥/灰化，用于輕型工藝，例如水蒸氣和揮發(fā)性化學液體廢氣/一般工業(yè)用途等

ulvacLS系列愛發(fā)科真空泵維修維修

ulvacLS系列愛發(fā)科真空泵維修維修

干泵是在真空室內不使用油或液體的真空泵，因此可以獲得干凈的真空?？稍趶拇髿鈮旱綐O限壓力的廣泛范圍內使用。

干式真空泵LS系列
LS120
一種干式真空泵，可實現(xiàn)高速排氣和低功耗。四種型號的產品陣容使您可以根據(jù)設備的尺寸和工作條件選擇具有佳排量的泵。

干式真空泵CR系列Ver.B
CR
干式真空泵CR系列VerB是獲得標準（CE，cTUVus）的風冷羅茨型干式真空泵。排氣室內不使用油，并且轉子和氣缸以非接觸方式運行，因此可以長時間穩(wěn)定運行。

干式真空泵GR系列
GR90
干式真空泵GR系列基于成熟可靠的LR / HR系列，為一般行業(yè)設計了簡單的結構。

干式真空泵LR / HR / UR系列
LR180
干式真空泵LR / HR / UR系列通過使用我們*的高溫浸泡技術有效地利用壓縮熱，從而在CVD和蝕刻等堅硬工藝中實現(xiàn)了高耐久性。在輕型過程中，與ECO-SHOCK結合使用，可以將功耗降低約80％。所有型號均兼容CE（可選），以提高可維護性并降低噪音。有關ECO-SHOCK的更多信息，請參閱“相關信息”。