產(chǎn)品詳情

單片刻蝕設(shè)備

 - 滿足SEMI S2、SEMI S8和CE標(biāo)準(zhǔn)；

 - 結(jié)構(gòu)合理緊湊，占地面積?。?

 - 配置ULPA FFU ,帶CDS供液及回收系統(tǒng)， 自動補(bǔ)液配液（通常3種藥液）；

 - Chamber內(nèi)正面2~3個Dispenser 及一個Fix Nozzle, 背面帶DI Nozzle；

 - MTTR: 小于60min，MTBF: 小500Hour；

 - 配置離子發(fā)生器及高清攝像頭；

 - 4~24 個腔體。

大家好！無錫亞電智能裝備有限公司是半導(dǎo)體晶圓行業(yè)濕法制程服務(wù)商，專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術(shù)，是*批推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的企業(yè)之一。公司核心產(chǎn)品為6吋、8吋、12吋濕法刻蝕清洗設(shè)備，包括槽式設(shè)備和單片設(shè)備，涵蓋多種前道濕法工藝，如：B Clean，Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。此外，為應(yīng)對個性化的清洗需求，公司還研發(fā)了多種輔助清洗機(jī)臺，如：爐管清洗機(jī)，片盒清洗機(jī)，部件清洗機(jī)，本地化學(xué)品供液設(shè)備，濕法工作臺，烘箱等。目前已與無錫上華、寧波中芯、廣州粵芯、無錫華虹、重慶華潤微電子等客戶達(dá)成友好合作。