MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器
美國艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.) 于1991 年在美國成立，是杰出的質(zhì)量流量和壓力解決方案廠商，隸屬于英國豪邁(Halma)集團(tuán)環(huán)境與分析事業(yè)部，榮膺“年度子公司獎”、“業(yè)務(wù)拓展增長獎”和“豪邁創(chuàng)新獎”。
Alicat產(chǎn)品采用層流差壓式原理，擁有LFE技術(shù)，憑借航天級水準(zhǔn)，長期支持美國航天局(NASA)、SpaceX火箭項(xiàng)目，并為科研及工業(yè)領(lǐng)域提供快捷、穩(wěn)定的技術(shù)解決方案。
產(chǎn)品類型：氣體或液體質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
客戶行業(yè)：實(shí)驗(yàn)科研、環(huán)境保護(hù)、生物醫(yī)藥、過程控制、能源化工、半導(dǎo)體以及相關(guān)的公共事業(yè)。
應(yīng)用領(lǐng)域：計量檢測、泄漏測試、生物發(fā)酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。
簡單升級老化的熱式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)MFC實(shí)現(xiàn)端對端的匹配連接。
MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動截止閥，適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設(shè)定點(diǎn)為零時出現(xiàn)污染情況。

• 多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
• 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
• 耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。

反應(yīng)濺射氣體流量控制

以50ms控制響應(yīng)速度精確控制真空室內(nèi)反應(yīng)氣體的分壓以避免靶件噴涂過度，良好的分辨率保證了適當(dāng)?shù)脑俞尫?，氣動截止閥確保無流量時的正向切斷。
升級您老舊的熱式質(zhì)量流量控制器只是我們艾里卡特簡化真空鍍膜所用的一種方式。
更多產(chǎn)品信息請查看質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
性能

• 可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦氣）
• 無需預(yù)熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
• MCE或MCV系列包裝清單：
• MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
• Flow Vision軟件

型號變體

• 閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長度*）型號（MCE系列）
• 閥門內(nèi)置并加裝氣動截止閥的型號，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
• 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

另有：

• 閥門安裝在外部的標(biāo)準(zhǔn)配置型號(MC系列)

閥門選項(xiàng)
您可以為您的質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過程條件下保持性能。

• MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
• MCV系列—選配內(nèi)部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動截止閥
• 腐蝕性氣體（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供選擇。在該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。
結(jié)構(gòu)選項(xiàng)

• 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO配件）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項(xiàng)

• 流量累加器
• 集成式電位計控制
• 高精度或自定義校準(zhǔn)