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HORIBA SEC-E40(MK3)質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 上海首榮工業(yè)設(shè)備有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2021/4/25 9:42:47
- 訪問次數(shù) 674
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測距儀,標(biāo)線儀,經(jīng)緯儀,全站儀,測距望遠(yuǎn)鏡,望遠(yuǎn)鏡,測溫儀,噪音計(jì),風(fēng)速儀,氣體檢測儀,紫外線燈,測厚儀,手操器,硬度計(jì),勞防工具,溶解氧,濁度儀
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電磁 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,電子/電池 |
HORIBA SEC-E40(MK3)質(zhì)量流量控制器
概要
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測定時(shí),必須對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在必須對流量進(jìn)行計(jì)測和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
工作原理
入口處進(jìn)來的氣體被分流到流量感應(yīng)器和旁路處。
通過感應(yīng)器得到按質(zhì)量流量比例形成的溫度變化信息,在回路中交換成 電力信號。
該信號通過增幅回路、修正回路,以 0~5V 的線形電力信號向外部輸出, 另一方面又輸入至比較控制回路中。
外部得到的設(shè)定信號和從感應(yīng)器處的到的流量信號在比較回路中形成差 異信號,再輸送至下一個(gè)的閥門驅(qū)動回路中。
流量控制閥門盡可能使該差異信號降為“0”,使流量一直控制在 設(shè)定流量。
特征
- 適用于寬廣范圍的流量控制,其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM(以N2為標(biāo)準(zhǔn))
- 被廣泛的使用于的制造業(yè),從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。
制造: HORIBA STEC
HORIBA SEC-E40(MK3)質(zhì)量流量控制器