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小流量氣體質(zhì)量流量傳感器

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矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司(Siargo,Ltd.)成立于2003年,公司總部位于美國加州硅谷。 矽翔公司生產(chǎn)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS流量芯片及其封裝技術(shù)為流體的測量提供了全新的拓展空間。該流量芯片為本質(zhì)安全型,具有低功耗、超大量程、高精度、易于數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳和網(wǎng)絡(luò)化等特點(diǎn)??捎糜诟黝悮怏w及其它微流體(含液體)的流量和濃度的測量。其產(chǎn)品已在醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)及商用天然氣計(jì)量、工業(yè)生產(chǎn)氣體控制、樓宇自控等方面得到了廣泛的應(yīng)用。 矽翔公司2005年在中國上海、成都及北京成立了分公司或辦事處。 矽翔公司生產(chǎn)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)基于集成MEMS/NEMS芯片的傳感器及微系統(tǒng)、系統(tǒng)產(chǎn)品可用于能源、醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)氣體計(jì)量和控制、為流體計(jì)量和控制以及通訊工程的各類應(yīng)用中。

目前公司提供的主要產(chǎn)品有: 世界的低功耗MEMS流量傳感器及在此基礎(chǔ)上開發(fā)生產(chǎn)的流量計(jì)(包括在線式及插入式流量計(jì)),具有超大量程、高精度等特點(diǎn)。 使用電池供電的熱質(zhì)量氣體流量計(jì)、兩線制氣體質(zhì)量流量計(jì)并具有超大量程、高精度、易于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)傳輸及網(wǎng)路化等特點(diǎn)。 專門為醫(yī)療應(yīng)用設(shè)計(jì)的流量傳感器,可用液體消毒、清洗;具有變量程、雙向測量等特點(diǎn)。 用于氣體或液體濃度檢測的傳感器,無衰減、功耗低、響應(yīng)快,并可以同時(shí)測量流量和濃度的變化。

產(chǎn)品特點(diǎn)
   • 傳感器靈敏度搞,極小的始動(dòng)流量
   • 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無需溫度及壓力補(bǔ)償,保障了傳感器的高精度計(jì)量 
   • 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
   • 8~24V供電
   • 傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)有*的改善 
   • *的封裝技術(shù)采用直接測量,無需旁路,壓力損失大幅度減小
   • 體積小、安裝方便
   • 可用于小至3.6mm的管徑,特別對(duì)于微流量測量和控制有其*的*性



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