一、儀器用途
m25298 型激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器，主要用于精密測(cè)量光學(xué)平面度。儀器配有激光光源(波長(zhǎng)為6328A)。對(duì)于干涉條紋可目視、測(cè)量讀數(shù)、照相留存記錄。工作時(shí)對(duì)防震要求一般。該儀器可應(yīng)用于光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量室。如需配購(gòu)相關(guān)的必要附件，可精密測(cè)量光學(xué)平板的微小楔角、光學(xué)材料折射率n的均勻性，光學(xué)鍍膜面或金屬塊規(guī)表面的平面度，90o棱角的直角誤差及角錐棱鏡單角和綜合誤差。
二、工作原理
本儀器工作基于雙光束等厚干涉原理。根據(jù)近代光學(xué)的研究結(jié)果，光兼有波動(dòng)與微粒兩重特性。光的干涉現(xiàn)象是光的 波動(dòng)性的特性
三、技術(shù)參數(shù)：
1、*標(biāo)準(zhǔn)平面(A面)，不鍍膜。 工作直徑：D1=Φ146mm
不平度小于0.02μm(λ/30)。
2、第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面)，不鍍膜。 工作直徑：D2=Φ140mm
不平度小于0.03μm(λ/20)。
3、準(zhǔn)直系統(tǒng)：孔徑F/2.8， 工作直徑：D1=Φ146mm 焦距：f=400mm.
4、測(cè)微目鏡：焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X，視場(chǎng)角2w=40o
成像物鏡：I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10 f=16 f=23 f=37
5、干涉室尺寸：深260＊寬300＊190mm。
6、光源規(guī)格：激光ZN18(He-Ne)，上海玻璃儀器一廠出品。
7、儀器的外形尺寸：長(zhǎng)＊寬＊高 350＊400＊720mm。
8、儀器重量：100公斤。
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