混合儀
- 公司名稱 成都萊峰科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2017/2/27 8:49:27
- 訪問次數(shù) 366
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氣體混合儀系統(tǒng)參數(shù)
氣體傳輸:1-8種氣體 , Swagelok卡套連接
氣體類型:N2,O2等(具體見系數(shù)表)
進(jìn)氣壓力:0.1-0.4MPA
控制閥動作型式:常閉式
響應(yīng)時間(sec):1S
工作壓差:0.05~0.5MPA
zui大耐壓:3MPA
控制原理:質(zhì)量流量器控制,每個出口單獨控制
流量:5SCCM,10SCCM,50SCCM可定(具體每套設(shè)備見設(shè)備出廠銘牌)
采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理,可以對不同的氣體進(jìn)行流量量測及控制,并且不會受到溫度及壓力變化的影響其他流速可選擇 ,其他氣體可選擇
準(zhǔn)確性: 優(yōu)于1%(2%流量大小確定)
質(zhì)量流量器數(shù)據(jù):
輸出的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量( 1個大氣壓,0度)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強………………101325Pa
控制顯示方式:本地顯示控制/軟件支持(無本顯)