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真空儲存柜

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超高排氣臺; 真空爐;鍍膜機; 空間濾波器; 橢偏儀;真空泵; 等離子束濺射鍍膜;電子槍; 射頻電源;全光譜光學(xué)膜厚監(jiān)測儀;磁控濺射陰極靶及濺射靶材;真空計;檢漏儀;四極質(zhì)譜; 真空閥門

真空儲存柜

 

無油真空系統(tǒng)

定時打印輸出真空度,時間,溫度,濕度

真空室個數(shù):3,4,12

各真空室可獨立控制

任意設(shè)定維持真空度上下限



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