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核心裝備賦能半導(dǎo)體創(chuàng)新 雷博科儀閃耀慕尼黑上海光博會
2025年03月18日 15:11:24
來源：化工儀器網(wǎng) 作者：羊舌木 點擊量：9187
在本次展會現(xiàn)場，雷博科儀攜五大優(yōu)良儀器——AC200勻膠機、DM200-SE顯影機、HP100-SE烤膠機、EC400有機-金屬真空熱蒸鍍儀、MS450多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)亮相。
作為亞洲激光、光學(xué)、光電行業(yè)的年度盛會，本屆慕尼黑上海光博會以“躬耕不輟，智啟新程”為主題，超過1400家展商齊聚申城，展示面積逾10萬平方米，全面展示激光、光學(xué)、光電領(lǐng)域從基礎(chǔ)元器件到系統(tǒng)集成的全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新成果。江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司(以下簡稱“雷博科儀”)受邀參與此次盛會，并在E7館檢測與質(zhì)量控制區(qū)大放光彩。
雷博科儀專注于為微電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域的高等院校、科研院以及各類生產(chǎn)企業(yè)提供半導(dǎo)體設(shè)備儀器。在本次展會現(xiàn)場，雷博科儀攜五大精良儀器——AC200勻膠機、DM200-SE顯影機、HP100-SE烤膠機、EC400有機-金屬真空熱蒸鍍儀、MS450多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)亮相。
雷博科儀展臺不僅是技術(shù)展示的窗口，更是行業(yè)交流的樞紐——科研學(xué)者、工程師與產(chǎn)業(yè)先鋒在此碰撞思想火花，共同探討未來技術(shù)路徑。這種直面用戶的深度互動，也為雷博科儀后續(xù)產(chǎn)品研發(fā)與市場拓展注入新的動能。
AC200勻膠機
AC200勻膠機
AC200勻膠機以全新升級的外觀設(shè)計適配實驗室需求，其先進的設(shè)計理念采用模塊化架構(gòu)，不僅支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等多功能模塊的個性化定制與自由組合，更可實現(xiàn)功能模塊快速拆卸替換，顯著提升操作便捷性。
設(shè)備搭載精密運動控制系統(tǒng)，通過高度集成的技術(shù)方案，在保障實驗精度與重復(fù)性的同時，為用戶提供了從基礎(chǔ)研發(fā)到工藝優(yōu)化的全流程靈活支持，充分滿足復(fù)雜實驗場景下的定制化需求與高效運維標(biāo)準(zhǔn)。
DM200-SE顯影機
DM200-SE顯影機
DM200-SE顯影機通過創(chuàng)新技術(shù)設(shè)計，實現(xiàn)了工藝精度與操作效能的雙重突破。設(shè)備采用全封閉式顯影結(jié)構(gòu)，有效防止顯影霧氣外溢，既保障實驗環(huán)境潔凈無污染，又通過內(nèi)腔鏡面拋光不銹鋼材質(zhì)與耐腐蝕噴塑外殼的協(xié)同作用，確保設(shè)備表面光潔易維護。
DM200-SE顯影機核心功能系統(tǒng)搭載可調(diào)節(jié)的波體流量與回吸控制模塊，配合實時顯示的真空壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，支持精細化工藝參數(shù)定制；內(nèi)置真空過濾器形成雙重防護機制，既能精準(zhǔn)阻隔液體侵入真空泵，又通過模塊化設(shè)計滿足多場景工藝需求，為半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域提供了兼具環(huán)境友好性、操作靈活性與設(shè)備耐久性的顯影解決方案。
HP100-SE烤膠機
HP100-SE烤膠機
HP100-SE烤膠機通過創(chuàng)新技術(shù)整合與人性化設(shè)計，為半導(dǎo)體工藝提供高效解決方案。設(shè)備采用硬質(zhì)陽極氧化鋁耐腐蝕面板，確保長期使用的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性與抗腐蝕性能；配備7寸全彩觸控屏與高級PLC控制系統(tǒng)，實現(xiàn)精準(zhǔn)參數(shù)調(diào)控與智能化操作體驗。
其嵌入式安裝設(shè)計支持操作高度靈活調(diào)節(jié)，適配不同實驗環(huán)境需求，結(jié)合自動頂升功能可快速切換至接近烤膠模式，既優(yōu)化工藝流程又提升操作便捷性，充分滿足高精度烘烤工藝對設(shè)備穩(wěn)定性、操控性與空間適配性的多重需求。
EC400有機-金屬真空熱蒸鍍儀
EC400有機-金屬真空熱蒸鍍儀
EC400是一臺高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，主要由真空室、蒸發(fā)源、膜厚監(jiān)測儀、樣品臺、真空獲得系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成。主機與控制一體化設(shè)計，操控方便;結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。
MS450多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
MS450多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備，主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、樣品臺、流量控制系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成。主機與控制一體化設(shè)計，操控方便，并且其結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。
雷博科儀始終堅守“卓越科學(xué)儀器，專業(yè)領(lǐng)域服務(wù)”的企業(yè)理念，提供精良設(shè)備，確保每一位科研人員在科研道路上能夠更加順暢和高效。在慕尼黑上海光博會的璀璨舞臺上，雷博科儀展示的每一臺設(shè)備都凝聚著雷博科儀對半導(dǎo)體工藝需求的深刻洞察與技術(shù)沉淀。雷博科儀正以匠心深耕技術(shù)沃土，用智慧開啟中國半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的新征程。未來，我們期待見證更多中國智造的力量在科技舞臺綻放光芒。
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